随着芯片制造商加速推进先进制程节点,荷兰厂商的高数值孔径(High-NA)EUV系统的量产能力日益成熟。据报道,10台High-NA EUV光刻机已在全球4家客户处投入使用,另有3台正在发货和安装中。而每一台High-NA EUV光刻机售价高达4亿美元(约合人民币27亿元)。
爱集微
2026-09-03
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