晶瑞电材又购得光刻机 KrF光刻胶量产导入已排上日程
2021-12-09
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12月8日，晶瑞电材对外披露，公司近期已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶的曝光测试，同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。此前，晶瑞电材已经购得用于负胶、g线、i线、ArF等4台光刻机，再加之此次购得的KrF光刻机，晶瑞电材已经到位5台光刻机。
目前，晶瑞电材KrF光刻胶已经完成中试，进入了客户测试验证阶段。这意味着，此次晶瑞电材新购得深紫外线KrF光刻机后，可以快速投建其KrF光刻胶产线，加速其KrF光刻胶量产化进程，也是其KrF光刻胶量产并导入晶圆厂的最后一步。
