众所周知，前段时间美国商务部副部长艾伦·艾斯特韦斯表示，美国在等中国的光刻机坏掉，意思就是一旦坏掉了，美国又不给许可证，那么光刻机就无法运转了。

因为按照美国最新的禁令，浸润式光刻机、EUV光刻机都不能卖到中国来，就算已经买到的这些禁令不允许的光刻机，那么其维修、更换备件也都要许可证的。

那么问题来了，ASML的光刻机坏了，我们能不能自己修？

目前国内没有EUV光刻机，这个问题就不要说了，反正也没有EUV，所以也不会坏，坏了肯定也不会修。

比较成熟的ArF（干式DUV光刻机）、KrF、i线、G线光刻机这些不在限制的范围之内，所以也不要考虑能不能修的问题，坏了找ASML来修即可。

真正要考虑的是被限制住，但又至关重要的浸润式光刻机，也就是ArFi这种，美国之前的禁令允许ASML出售ArFi光刻机给中国的，直到今年的1017禁令，才限制住这种光刻机，所以国内有很多浸润式光刻机。

而按照媒体的说法，这种ArFi光刻机，通过多重曝光，是可以实现7nm工艺的，而这也是美国限制的重要原因之一。按照新的禁令，这种光刻机坏了，如果需要ASML来维修，或更换备件，是需要许可证的。

所以美国说等中国的光刻机坏掉，大概率就是等浸润式光刻机坏了，我们无法自己修，那么7nm工艺就实现不了，意图就在这。

那么我们能不能修？答案是：目前我们自己还不能修。

之前有位专业人士表示，由于ASML一直是提供一揽子服务的，买了他的机器，后续的售后全部由ASML包了，且在中国就有服务团队，所以一直以来，都是ASML自己来维修。

再加上光刻机里面本身设备就非常复杂，各种光设备、机械设备，线路等非常复杂，维修并不容易，国内也没有这一块的专业工程师，毕竟自己也造不出来。

且国内也没有备件，某个零部件坏了，只能靠ASML提供备件来更换，没有替代品的。

但是，如果ASML不给修了，没办法了，我们只能自己修了，至于能修到什么程度，谁也不清楚，这个是一步一步来的，也许过程会比较艰难，但如果能修好，对于研发自己的光刻机，也是有积极意义的。

另外国内在零部件这一块，可能是个硬伤，毕竟国内光刻机技术本来就落后一些，不太可能能够生产出ASML的浸润式光刻机的备件出来，但还是那句话，关键时候，也只能试一试了，不可能真的坏掉，就变成废铁了吧。

好在光刻机没这么容易坏掉，一般周期需要3-5年才会维修或更换备件什么的，而3-5年之后，会是什么样的，谁又清楚了，或许中国自己的EUV光刻机都研发出来，还担心个啥。