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ASML首台全新极紫外光刻机已交货
2021-07-22 来源:科创板日报
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22日讯,荷兰光刻机设备生产商阿斯麦(ASML)此前公布了 2021 年第二季度财报。此外,ASML方面表示,EUV (极紫外光) 光刻业务: 第一台NXE:3600D已出货给客户。相较于前一代产品,NXE:3600D的生产力提高15%到20%,且套刻精度(overlay)也提高 30%。ASML正增加EUV在存储产业的量产应用,并将计划协助三个 DRAM 客户实现在未来的制程节点中导入EUV。



ASML 正努力增加 EUV 在存储产业的量产应用,并将计划协助三个 DRAM 客户实现在未来的制程节点中导入 EUV。在其 DUV 业务中,TWINSCAN NXT:2000i(一种 ArFi 浸入式系统)创下了单日在客户处曝光 6,300 多片晶圆的记录。


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